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    2. 產品中心

      含氟新材料、含氟醫藥、農藥中間體生產銷售!

      特種稀有氣體(含氟)氣體

      三氟化硼

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      0519-82585998

      外貿熱線

      86-13918169366

      產品詳情

      分子式:BF3

      分子量:67.80

      GAS號:7637-07-2

      熔點:-127℃

      沸點:-100℃

      閃點:4℃

      水溶性:溶于水

      產品介紹 Product introduction 

              常溫常壓下三氯化硼11(B11Cl3)為無色發煙氣體,可燃,有刺激性、酸性氣味,遇水分解生成氯化氫硼酸,并放出大量熱量,在濕空氣中因水解而生成煙霧,在醇中分解為鹽酸和硼酸酯。三氯化硼11反應能力較強,能形成多種配位化合物,三氯化硼加熱能和玻璃、陶瓷起反應,也能和許多有機物反應形成各種有機硼化合物。高純三氯化硼11主要用于(硅)半導體器件制造工藝中的擴散摻雜,在高溫下,經過分解生成硼雜質向硅中擴散,形成P型半導體,也可用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、WSi等材料的干法蝕刻。

      產品指標 Quality specification

      項目Items單位Units指標Index
      三氯化硼11 Boron11 Trichloride≥Vol.%99.9995
      氧+氬Oxygen+Argon<Vol.ppm1
      氮Nitrogen<Vol.ppm4
      一氧化碳Carbon monoxide<Vol.ppm0.5
      二氧化碳Carbon dioxide<Vol.ppm0.2
      甲烷Methane <Vol.ppm0.5
      總雜質含量Total impurity content≤Vol.ppm5
      金屬離子Metal ionVol.ppm供需雙方商定
      Supply and demand agreement

      產品用途 Application

        高純三氯化硼11主要用于半導體器件和集成電路制造中擴散摻雜、離子注入、干法蝕刻等工藝。三氯化硼11也可用以制造高純硼、有機合成用催化劑、硅酸鹽分解時的助熔劑,在合金精制中作為除氧劑、氮化物和碳化物的添加劑。


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      廠房環境

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